滑阀泵在进气压力达到极限压力时，滑阀泵的实际抽速为零，排气阀一直关闭，可得：
当滑阀泵达到极限压力时，滑阀泵的实际抽速为零，即有：
式中S 理论—— 单级滑阀泵的理论抽速
P 极限—— 单级滑阀泵的理论极限压力
P 大气—— 大气压力
上式推出单级滑阀泵的理论极限压力P 极限与间隙的关系，滑阀泵的实际极限压力总是大于理论极限压力P 极限，实际运行中，滑阀泵需要润滑油润滑和密封，润滑油的密封效果越好，实际极限压力与理论极限压力越接近；润滑油的密封效果越差，实际极限压力与理论极限压力相差越大，滑阀泵的理论极限压力是实际极限压力的基础。同时，由于间隙的大小会影响润滑油的密封效果，由此可以得出这样一个结论：单级滑阀泵的间隙越小，则泵的理论极限压力越低，润滑油的密封效果好，从而使得滑阀泵的实际极限压力低。
双级滑阀泵是由高真空级与低真空级串联而成，下文用高缸代表高真空级，用低缸代表低真空级。同理，对于双级滑阀泵，返流造成的低缸的抽速损失由上文可得：
式中S 低缸理论—— 双级滑阀泵低缸的理论抽速
P 低缸极限—— 双级滑阀泵低缸的极限压力
P 大气—— 大气压力
K 低缸—— 双级滑阀泵低缸间隙总的流导系数
高缸在极限压力附近的返流为分子流状态，则此时高缸的间隙流导与压力无关，只与高缸间隙大小相关，所以可设此时高缸的间隙流导为C 高缸。高缸没有排气阀，高缸的排气压力始终与低缸的进气压力相同，所以可得：
式中S 高缸理论—— 双级滑阀泵高缸的理论抽速
P 极限—— 双级滑阀泵的理论极限压力
