超纯水系统工程总体来说一般可分为三个部分：超纯水制造区(CUB部分)、超纯水抛光循环区(FAB部分)、超纯水输送管网(FAB各使用区)。其中超纯水制造区最为复杂其又可分为：预处理、一次纯水处理、超纯水处理三个部分。

预处理部分主要包括：沙滤、活性炭塔(有的在沙滤前还增设反应槽、气浮池);

一次纯水部分主要包括：阴阳离子交换塔、脱气塔、保安过滤器、紫外线杀菌器及多级反渗透;

超纯水部分主要包括：脱氧膜组、TOC-UV杀菌器、混床及终端过滤器。

但是由于考虑到在向工艺线设备输送高纯水过程中，输水管道会对水质再次造成污染，因而在FAB内一般都设立抛光循环系统。抛光循环系统主要以混床为核心，再加上超滤设备，以除去向工艺生产线输送纯水的过程中，管网溶入水中的杂质。

超纯水系统中各阶段常用管材：

在超纯水系统中管材的选用也非常重要，既要能做到保证水质、又应该做到经济合理。超纯水系统中常用管材主要包括：PVC、SUS304、CPVC、SUS316及PVDF等管材。一般在超纯水制造区预处理阶段多采用PVC管或SUS304管。对水泵等产生震动的动力设备周边采用SUS304管;在一次纯水阶段主流程采用CPVC管或SUS304管。高压泵与反渗透(RO)之间，由于压力高所以必须采用SUS304管及耐压2.0Mpa级的法兰。

由于RO对水温有一定的要求，因而一般在RO之前有热交换器，其周边也应该采用SUS304管;在超纯水制造阶段，主流程一般应采用SUS316管和CPVC管;抛光循环区主流程一般采用SUS316管(焊接连接，并要求双面成型)和PVDF管，超纯水回收管道采用CPVC管。

在以上水处理各阶段废水排放管道均采用普通PVC管;在纯水制造过程中酸碱等加药管线，应采用耐冲击PVC管;纯水系统中使用的氮气系统采用SUS304管，超纯水抛光系统所用氮气管道采用SUS316管;压缩空气系统在纯水系统中作为气动阀开关动力，一般采用SUS304管。